《纳米技术与精密工程》（CN：12-1458/O3）是一本有较高学术价值的大型季刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。

《纳米技术与精密工程》主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者。

1、《纳米技术与精密工程》文稿应资料数据准确、具有科学性。应立论新颖,文责自负（严禁抄袭），文字要精炼。

2、《纳米技术与精密工程》姓名在文题下按序排列，排列应在投稿时决定。作者姓名、单位、详细地址及邮政编码必写清楚，多作者稿署名时须征得其他作者同意，排好先后次序，接录稿通知后不改动。

3、《纳米技术与精密工程》文章要求在2000-2400字符，格式一般要包括：题目、作者及单位、邮编、内容摘要、关键词、正文、参考文献等。文章标题字符要求在20字以内。

4、文章中的图表应具有典型性，尽量少而精，表格使用三线表；图要使用黑线图，绘出的线条要光滑、流畅、粗细均匀；计量单位请以近期国务院颁布的《中华人民共和国法定计量单位》为准，不得采用非法定计量单位。

5、为缩短刊出周期和减少错误，来稿一律使用word格式，并请详细注明本人详细联系方式。

6、所投稿件，保证尚未在任何正式公开出版物上发表过。

年度被引次数报告 (学术成果产出及被引变化趋势)

• 基于扭转谐振模式3D-AFM的微结构侧壁形貌检测

  针对半导体器件微结构侧壁关键尺寸检测需求，设计了一套三维原子力显微镜（3D-AFM）系统．该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针，以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描．介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理，对系统的横向检测灵敏度进行了标定，获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的变化曲线．利用该系统对栅格标样侧...

  作者：刘璐 徐建国 吴森 张锐 徐临燕 胡晓东 刊期： 2016年第01期

• 基于核密度估计的纳米线识别和定位

  针对基于扫描电子显微镜（SEM）的纳米操作系统中，SEM图像噪声大，难以实现小目标物体（纳米线）的识别等问题，利用核密度估计来识别纳米线，以实现其精确定位．首先，利用核密度估计实现阈值分割，以便实现纳米线提取；然后，利用图像处理中的细化算法，获取纳米线的中线方程；最后，利用纳米线的中线方程和纳米线图像，用基于梯度方向高斯曲...

  作者：李东洁 王德宝 张越 刊期： 2016年第01期

• 高刚度气体静压导轨设计分析

  采用有限差分法求解气体静压润滑的二维Reynolds方程，其静态特性规律显示减小节流孔径可以提高气体静压导轨刚度，但是减小了气膜最佳工作间隙，对节流面的面形精度提出了更高的要求．采用直径50μm的节流孔，在50mm×50mm的滑块上实现了50N／μm的最大刚度，并且试验结果与理论计算基本一致，从工程上验证了减小节流孔径实现高刚度的可行性．根据...

  作者：陈小刚 彭小强 铁贵鹏 关朝亮 郭蒙 刊期： 2016年第01期

• 基于机器视觉的半球面微小孔位置的精密测量系统

  针对精密零件的半球表面上微小功能孔的位置测量需求，研制了一套基于二维扫描机构、图像获取单元和精密隔振工作台的机器视觉测量系统．本文提出了基于二维正交旋转扫描测量微小孔孔间位置的理论方法和数学模型，探讨了在图像处理过程中小孔边缘的提取算法以及小孔空心位置的计算方法．为了验证测量系统对半球面微小孔位置的测量能力，实验中选...

  作者：黄劼 许斌 刊期： 2016年第01期

• 金属基压电扫描振镜的设计与测试

  本文设计了一维金属基压电扫描振镜并进行了性能测试．该振镜利用金属微铰链梁将压电振子的伸缩振动转化为硅反射镜的旋转振动，具有扫描角度大、可靠性高、成本低廉的特点．首先，建立了压电振镜的有限元模型，通过模态分析和谐振响应分析得到了振镜的谐振模态以及扫描角度极限随铰链梁尺寸和位置的变化关系．接着，制备了由压电振子、钢片基底...

  作者：马玉婷 陈忠祥 王策 严心涛 刊期： 2016年第01期